专利详情
Patent Details
| 专利类别：发明 | 申请号： CN201310120171.3 | 申请日期：2013-04-08 |
| 公开日期：2015-08-19 | 专利名称： 蒸镀遮罩、蒸镀系统及材料的提纯方法 | 发明人：廖良生,丁磊,周东营 |
| 法律状态：专利权的转移 | 申请人：苏州大学 | 公开号：CN103194724B |
| 主分类号：C23C14/24(20060101) | 优先权号： | 行业分类：C:化学、冶金 |
| 优先权日： | 专利权人：上海升翕光电科技有限公司 | 评估得分： |
专利附图
Patent Picture
摘 要
Summary
本发明公开了一种蒸镀遮罩，配置于蒸镀源和基板之间，包括：管状的主体部，包括一开口部；部分遮挡所述开口部的遮挡部，用以控制来自蒸镀源的蒸发物质在开口部的辐射角度。本发明还公开了一种蒸镀系统及材料的提纯方法。本发明的蒸镀遮罩，不仅可以控制蒸镀材料的辐射角度，还可以对蒸镀材料进行提纯回收，节约材料。
交易流程
Trading Process
过户资料
Transfer Data
具体描述
Specific Description
