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一种OLED线性蒸发源结构

出售价格: 面议
  • 专利分类:实用新型

  • 专利申请号:CN201721898982.6

  • 持有人:上海升翕光电科技有限公司

  • 发明人:林文晶,彭勃

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专利详情

Patent Details

专利类别:实用新型 申请号: CN201721898982.6 申请日期:2017-12-29
公开日期:2018-08-07 专利名称: 一种OLED线性蒸发源结构 发明人:林文晶,彭勃
法律状态:授权 申请人:上海升翕光电科技有限公司 公开号:CN207699657U
主分类号:C23C14/12(20060101) 优先权号: 行业分类:C:化学、冶金
优先权日: 专利权人:上海升翕光电科技有限公司 评估得分:

专利附图

Patent Picture

摘  要

Summary

本实用新型涉及一种OLED线性蒸发源结构,涉及蒸镀设备技术领域。所述OLED线性蒸发源结构包括坩埚,所述坩埚上设有坩埚出气口;本体,所述本体的底部中央位置设有本体进气口;及置于本体的顶部且呈线性均匀排布的多个喷嘴;所述本体在垂直于喷嘴排列方向上的两侧分别设有封板,所述封板紧固在所述本体上,且能实现对所述本体的内腔的密封。本实用新型的OLED线性蒸发源结构经过加热坩埚产生的蒸镀气体,通过所述本体进气口进入到本体内腔中后,会均衡地进入各本体通孔内,再经由各喷嘴将蒸渡气体均匀一致地喷射到基板上,能提高有机材料镀膜的厚度均匀性和良率。

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具体描述

Specific Description

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