专利详情
Patent Details
专利类别:实用新型 | 申请号: CN201721898982.6 | 申请日期:2017-12-29 |
公开日期:2018-08-07 | 专利名称: 一种OLED线性蒸发源结构 | 发明人:林文晶,彭勃 |
法律状态:授权 | 申请人:上海升翕光电科技有限公司 | 公开号:CN207699657U |
主分类号:C23C14/12(20060101) | 优先权号: | 行业分类:C:化学、冶金 |
优先权日: | 专利权人:上海升翕光电科技有限公司 | 评估得分: |
专利附图
Patent Picture
摘 要
Summary
本实用新型涉及一种OLED线性蒸发源结构,涉及蒸镀设备技术领域。所述OLED线性蒸发源结构包括坩埚,所述坩埚上设有坩埚出气口;本体,所述本体的底部中央位置设有本体进气口;及置于本体的顶部且呈线性均匀排布的多个喷嘴;所述本体在垂直于喷嘴排列方向上的两侧分别设有封板,所述封板紧固在所述本体上,且能实现对所述本体的内腔的密封。本实用新型的OLED线性蒸发源结构经过加热坩埚产生的蒸镀气体,通过所述本体进气口进入到本体内腔中后,会均衡地进入各本体通孔内,再经由各喷嘴将蒸渡气体均匀一致地喷射到基板上,能提高有机材料镀膜的厚度均匀性和良率。
交易流程
Trading Process
过户资料
Transfer Data
具体描述
Specific Description