专利详情
Patent Details
| 专利类别：发明 | 申请号： CN201710859797.4 | 申请日期：2017-09-21 |
| 公开日期：2018-01-19 | 专利名称： 一种蒸镀源喷嘴挡板机构 | 发明人：郑子明,赵军,吕海超,彭勃 |
| 法律状态：授权 | 申请人：上海升翕光电科技有限公司 | 公开号：CN107604316A |
| 主分类号：C23C14/24(20060101) | 优先权号： | 行业分类：C:化学、冶金 |
| 优先权日： | 专利权人：上海升翕光电科技有限公司 | 评估得分： |
专利附图
Patent Picture
摘 要
Summary
本发明属于蒸镀设备领域，涉及一种蒸镀源喷嘴挡板机构，包括挡板、挡板连接杆、第一支撑杆、第二支撑杆、支撑座、连杆、推拉滑杆、滑座和驱动装置；挡板与挡板连接杆的一端固定于一体，挡板连接杆的另一端与第二支撑杆的一端铰接，第二支撑杆的另一端铰接在支撑座上；第一支撑杆的一端铰接在挡板连接杆的中间位置，第一支撑杆的另一端与连杆的一端进行铰接，第一支撑杆的中间位置铰接在支撑座上；连杆的另一端与推拉滑杆的端部铰接，推拉滑杆穿过滑座连接于驱动装置上。通过控制驱动装置，可实现挡板机构动作，且结构紧凑，占用空间小，有利于在非蒸镀操作时遮挡蒸镀源喷嘴，回收蒸镀材料，提高蒸镀材料的利用率和蒸镀的良率。
交易流程
Trading Process
过户资料
Transfer Data
具体描述
Specific Description
