专利详情
Patent Details
| 专利类别：实用新型 | 申请号： CN200920045334.5 | 申请日期：2009-05-15 |
| 公开日期：2010-02-17 | 专利名称： 用于真空线源蒸发镀膜设备的加热装置 | 发明人：廖良生,李述汤 |
| 法律状态：专利权有效期届满 | 申请人：苏州大学 | 公开号：CN201406463Y |
| 主分类号：C23C14/24(20060101) | 优先权号： | 行业分类：C:化学、冶金 |
| 优先权日： | 专利权人：上海升翕光电科技有限公司 | 评估得分： |
专利附图
Patent Picture
摘 要
Summary
本实用新型公开了一种用于真空线源蒸发镀膜设备的加热装置，包括蒸镀容器和加热器，所述加热器的中心部位设有至少一个长条状加热片；所述蒸镀容器的底部向上凸起形成与所述长条状加热片配合的导热槽。本实用新型大大提高了热能的利用率，并大大降低了设备的成本。
交易流程
Trading Process
过户资料
Transfer Data
具体描述
Specific Description
